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UNIVEX C 多腔镀膜系统和定制化沉积系统

对于特定应用，Leybold 莱宝提供模块化多腔镀膜机。

Leybold 莱宝 UNIVEX 多腔镀膜机可以根据客户要求设计，包含独立的工艺室、真空进样室和传送室。每个真空室通常都有自己的高真空系统，可以实现单基片或多基片镀膜。

在各个真空室之间传送基材时，使用电机驱动的机械手臂传送。UNIVEX 控制软件根据特定的应用要求进行定制，支持编制工艺程序。

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